二手 MKS GLM-2000 #9073496 待售

MKS GLM-2000
製造商
MKS
模型
GLM-2000
ID: 9073496
Minority Carrier Lifetime Monitor Measurements: Gtau (lifetime) Photoconductance Rise (PCR) Photoconductance Decay (PCD) Sheet Resistance Gtau Lifetime Measurement Range: 0.2-15,000 microsecond (µsec) equivalence PCR and PCD Measurement Range: 5-15,000 µsec Sheet Resistance Range: 1 5-1000 Ohm o Within Specification Temperature: 18º - 28°C ambient Substrate Size: 2”, 3”, 4”, 6” diameter, 156 x 156 mm LED Light Source2: Near Infrared (940 nm) or Green (527 nm) Sensor Measurement Area: 940mm2, spatially averaged illumination Substrate Thickness: <1.1 mm (<2.0 mm with tray removed) Power: 110-240 VAC, 50/60 Hz.
MKS GLM-2000是一种用于检测制造缺陷的强大的掩模和晶圆检测设备。检查系统提供光掩码、平板显示器和MEMS设备的自动缺陷检查。检验单位配备了高分辨率的光学机器,先进的照明技术,以及独特的观察工具,使其能够检测到甚至最微妙的表面不规则性。GLM-2000旨在支持广泛的检查应用,包括介电测量、临界尺寸检查、全局对齐以及设计规则/掩码规则验证。MKS GLM-2000配备了先进的视图技术,使资产能够快速访问模式中的模煳特征或检测具有高对比度或分辨率的缺陷。GLM-2000中使用的扫描级能够进行高速移动和高精度定位,从而能够进行准确可靠的缺陷检查。该模型提供了多种不同的检测技术,如多焦点、3D-dipole和多角度光反射。该设备还具有强大的图像处理算法,用于先进的边缘检测、特征测量和图像比较。MKS GLM-2000能够在一个周期内检查多达10个掩模和晶片。该系统具有高度的可配置性,可以根据各种制造工艺的需要进行定制。GLM-2000的设计符合批量生产、需要大批量检验的制造商的要求。该装置故障率低,确保机器始终可靠准确。MKS GLM-2000是一种方便用户和高效的检查工具。直观的用户界面和图形化的用户界面使操作变得容易。检验资产符合多种行业标准,包括CD-SEMI、J-STD和IEC-60950。该模型旨在在制造、成像和计量等多个行业中提供高效可靠的缺陷检测。GLM-2000是一个经济高效的检测设备,提供无与伦比的准确性和吞吐量。
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