二手 MOLECULAR IMPRINTS Imprio 55 #293590454 待售
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MOLECULAR IMPRINTS Imprio 55是一种综合性的掩模和晶圆检测设备,专门设计用于在半导体制造过程中提供最大的操作员灵活性。该系统提供了在整个基板材料范围内快速、准确和可重复的关键特征尺寸以及层和关键覆盖特性的测量。Imprio 55由一个高分辨率的光学晶片成像子系统和一个安装在顶部的掩模检查头组成,可同时查看顶部和底部的掩模表面。该成像子系统具有五个光学通道,包括激光二极管和Moire相移,通过专有的图像处理体系结构提供优化的成像,以快速准确地检测缺陷。该装置还提供各向同性表面检查的圆偏振光检查。除了光学成像能力外,MOLECULAR IMPRINTS Imprio 55设计了强大的原位样本装填定位机,允许在无人看管的操作中快速的晶圆定位和检查多达12个口罩。中央控制控制台具有直观的图形用户界面,支持各种数据分析工具,使用户能够访问预定义的检查配置文件,并能够自定义自定义的设置和分析参数。多个迭加模式提供了在精确的2轴级帮助下检查各种对齐规范的灵活性。Imprio 55还提供了一个集成的计量包,其中包含一系列高级测量解决方桉,包括CD、临界尺寸、坐标和线宽测量以及迭加位置、平顶/底部和迭加高对比度结果。此外,它还支持几种专门针对流程控制的高端统计流程控制模式、分析和报告,包括全面注册。简而言之,MOLECULARimprintsImprio 55 mask&wafer inspection tool from MOLECULAR IMPRINTS旨在提供半导体制造所需的灵活性、准确性和可重复性。其高分辨率的光学资产、自动晶片加载和定位、精细的图像处理和集成的计量功能使该模型能够快速可靠地对掩模和晶片进行高级检查和分析,从而帮助将生产时间和成本降至最低。
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