二手 NANOMETRICS 7000-033895 #9242378 待售
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NANOMETRICS 7000-033895"掩模和晶圆检测"设备是一种用于集成电路生产的高性能光学检测工具。它旨在为标线、掩模和晶片提供快速、准确的基于图像的接触层特征分析。该系统包括主机、舞台和光学单元。大型机是一个多功能的主力平台,可容纳舞台、光电、精确运动控制系统和用户界面。大型机的设计目的是通过广泛的图像捕获和分析功能提供可靠、高效的使用。该级是一个精密的空气承载平台，能够使用编码器技术和线性光学编码器的组合精确、平滑地定位在x和y轴上。它也是用精密电机驱动的机器建造的，允许精确定位Mask&Wafer基板。光学工具的设计目的是在基板上提供高分辨率的接触层成像（高达2200万像素）。整个资产被安置在一个非反射的黑色环境中，允许更高的精度和最小的光学反射。光学器件还包含了几种用于蒙版和晶片照明的大功率激光器和超级透镜。这些组件的精确定位大大提高了车型的性能。板载软件允许以高度精确度自动检测接触层特征。此外,该软件还支持面向对象的测量和计算机辅助设计软件（CAD）,使用户能够通过单个图像在单个基板上分析和放置大量接触特征。有了这样的精确度计算，设计模拟和评估就可以实现。最后,该设备符合大多数行业标准,能够将接触特性验证为20 nm,小于可见光的波长。这对于先进集成电路的生产是非常有利的。该系统使用可用的最佳组件和软件功能,以高精度提供可靠一致的结果,使其成为任何接触层检查工作的理想工具。
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