二手 NANOMETRICS 8000X #9294202 待售
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NANOMETRICS 8000X Mask and Wafer Inspection Equipment是一种高性能、自动化的计量解决方桉,旨在在制造过程中监控Mask和Wafer质量。它可以精确测量精度高达20 nm的关键特征。NANOMETRICS 8000 X系统采用模块化设计,支持标准配置和自定义配置。8000X的核心是大幅面光学级,它与电动X、Y和theta级集成在一起,可实现动态对准,用于多步测量或跟踪多个模具泄漏。舞台还设有内置屏蔽,以减少背景噪音和双盒式装载机,以提高生产力。8000 X单元使用EXE™软件进行控制,该软件为配置、控制和数据分析提供了功能强大、用户友好的界面。EXE软件包具有自动化扫描策略、多个计量通道、高速数据传输等多种高级功能。机器能够对关键特征进行多次测量,如标线、通孔、触点、关键曲面和徽标。它提供高密度测量,并可以检测和分类小特征大小的缺陷,包括线条、空间和通过特征。NANOMETRICS 8000X工具也被设计为支持自动化。它可以连接到电子显微镜、测试仪和扫描仪/探针系统,以获得更自动化的计量解决方桉。NANOMETRICS 8000 X掩模和晶圆检验资产是半导体制造质量控制和过程监控的理想解决方桉。它的高级功能、精确的测量和自动化功能使其成为监控掩模和晶圆质量的最有效解决方桉之一。
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