二手 NANOMETRICS 9010 #293590700 待售

NANOMETRICS 9010掩模和晶片检测设备是一种自动化的在线光学检测系统,能够测量、表征晶片图样上的各种缺陷并对其进行分类。用于检测和分类半导体集成电路制造过程中的各种印刷品、缺陷和口罩。该单元以光学成像原理为基础，利用高分辨率成像方法，实现更高水平的准确性和可重复性。机器由几个高性能的光学系统组成，使它能够以无损方式捕获和分析晶片和掩模的图像。它配有用于成像的高分辨率单色CCD相机和用于检查和测量的内置软件。所有组件都集成在一个精确的平台上，这样可以获得准确和可重复的结果。该工具具有一个大的工作区域来测量大的蒙版和晶圆，最大视场高达180毫米x 180毫米。资产利用其具有10x/0.25NA、40x/0.5NA和90x/1.1NA的高性能立体显微镜。9010 Mask&Wafer Inspection Model能够提供各种类型的晶圆图样和Mask的高级结果。它可以检测和分类包括硅、聚合物和有机基板在内的多种材料上的缺陷。设备有一个内置的参数库，可以编程来测量各种布局特征，包括线宽、螺距和边缘。它还可以检测与过程相关的错误,如重迭、桥接和缝合。此外,它还能够通过通配符类在检查掩码边缘、子像素缝线和后缝线检查上自动进行缝线。这样可确保晶片所看到的掩码有效且不包含任何错误。检查结果可以以PDF、TIFF和CSV等多种格式进行分析和存储。用户界面简单、用户友好，提供了查看和分析数据的简便方法。用户还可以自定义系统设置,以指定他们有兴趣检测的缺陷类型。总体而言，NANOMETRICS 9010掩模和晶片检验装置是一种用途广泛、准确的工具，用于检测和分类各种晶片模式和掩模。它具有简单的用户界面和捕获和分析高分辨率图像的能力，是半导体行业的宝贵工具。