二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9294762 待售

NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300是一种高度先进和全面的掩模和晶圆检测设备。它提供了对用于制造各种电子设备的关键光刻掩模和晶圆元件的准确、自动化和一致的检查。该系统由一个镜头检测台（LIT）、一个控制镜头的步进单元、一个光学站组成 （OS），其中包括三个独立的光学系统，一个可编程对准模块化放大镜 （PAMM）显微镜、带有高分辨率数码成像相机的检测性能站和机械臂 （RA）针对心轴载荷、接近感应和零件的精确对准进行了优化。LIT是一种精密传输台,其表面嵌入可调节和锁定的公差,以确保平台上的所有光学元件在整个检查周期中保持在同一位置。这可以让机器提供一个统一的结果，而不管透镜对准参数的差异所带来的任何失真。操作系统负责掩模和晶圆组件的光学传输。它由空间和高能效的光学设计组成,可通过多种放大倍数提供最大分辨率。它包含三个独立的光学系统，即PAMM和检查性能站，允许同时进行检查和更精确的点测量。PAMM是一种配有先进传感和图像分析能力的显微镜。其自动特征提取算法识别和分析掩码和晶圆特征,如线宽、间距或其他需要测量的关键尺寸。检查性能站使用高分辨率数码成像相机在检查过程中捕获和存储掩模和晶片组件的图像。相机可确保掩模和晶片表面的精确均匀性,并能够快速准确地进行均匀性测量。RA是一种智能机械臂,用于加载和自动定位晶片和掩模组件,以便进行最精确的测量。它还使工具能够在一个步骤中处理晶圆，从而提高加工速度和效率。ACCENT CALIPER Q300在面罩和晶片检测方面是一种先进而有效的仪器。其精确的光学系统，结合PAMM显微镜、高分辨率数码相机和机械臂，提供了制造电子设备时使用的最复杂元件的一致检查结果。