二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CDS 200 #9105488 待售
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NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CDS 200是一款高性能、先进的掩模和晶圆检测设备,旨在满足半导体行业最苛刻的掩模和晶圆检测要求。该系统能够检测分辨率为5微米的面罩和分辨率为0.1微米的晶圆图桉,对于更大的图桉可以提供高达16倍的放大倍率。它具有每小时720个图像的高吞吐量,以及用于快速作业设置和图像处理的自动图像传输单元。该机器建立在基于Windows的平台上,具有用户友好的图形界面,允许广泛的用户定义的检查参数。它有能力检测常见的表面缺陷,如颗粒、残留物和划痕,以及结构缺陷,包括缺失和超大的物体。此外,该工具还可用于检测暗场缺陷,如微粗糙度和互连缺陷。ACCENT CDS 200还实现了多通道设置,可以适应各种客户要求,包括自动目视检查、自动表面检查、自动3D检查、自动光电检查和自动模具剪切检查。BIO-RAD CDS 200具有完全集成的相机资产,具有高清成像功能和自动图像采集和缝合功能。此外,该模型还具有独特的多方向模式识别算法,能够准确检测小缺陷。NANOMETRICS CDS 200能够就检测到的缺陷提供反馈,从而能够准确地对缺陷进行表征和分类。该设备还采用了最先进的控制方桉,确保所检查的口罩和晶片的生产达到最高质量标准。该系统提供了可追踪性和实时查看功能,以及可配置的工作流驱动功能,以便于操作。此外,该单元还确保遵守各种标准,包括SEMI D 10和SEMI F 50标准。CDS 200还包括一整套用于图像分析和缺陷检测的软件工具,允许快速诊断缺陷。该机设计为满足各种应用的高吞吐量和精度要求,包括晶圆和掩模制造、光缺陷检测、掩模测量和校正,以及专门的产品检验。
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