二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9183432 待售
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ID: 9183432
Overlay measurement system, 8"
Hardware configuration:
Main system:
Main body
PC Control console
SMIF System: (2) Indexers
Handler system:
Robot unit
Prealigner
CIM Linked
2000 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200i是一种先进可靠的掩模和晶圆检测设备。该系统专为大批量生产线而设计,提供快速准确的效果。它提供高达400毫米晶圆尺寸的扫描功能,以及从像素级到线条/空间布局的各种检查选项。基本单元由主传感器级、样本级、计算机和外围设备以及控制软件组成。主传感器级配备了5MP CCD摄像头,可提供优越μ 6 m像素大小,可精确定位晶片和掩模缺陷。样本级是一个带有闭环运动控制机的电动级,提供高达350毫米/秒的扫描速度和400毫米x 400mm的X-Y行程。ACCENT Q200i控制软件利用摄像头、舞台和其他硬件组件的功能来执行自动图像分析。它与几种智能算法协同工作,快速检测光刻相关缺陷和其他复杂模式。此外,它还具有用于执行多个晶圆检查的切块和缝合工具,以及用于显示检查结果的数据图形用户界面。该资产还与多个第三方模式识别软件兼容,提供准确的结果和高效的检查工作流程。它还设计为易于安装,并且在操作过程中需要最少的用户干预。此外,它还设计了先进的自动对焦模型、远程监控和可选的内置背景噪声消除硬件,以确保最高的准确性和可靠性。总之,BIO-RAD Q200i是一种强大、高效、可靠的大批量生产线面膜晶片检测设备。该系统配备了5MP CCD摄像头、电动采样台以及各种其他组件和智能算法,用于执行精确的图像分析和检测复杂的光刻相关缺陷。此外,它易于安装,并提供各种第三方模式识别软件选项,以实现高效的检查工作流程。
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