二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9235491 待售
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ID: 9235491
优质的: 2002
Overlay measurement system, 8"
EFEM
AC Rack
(3) Cartons
GENMARK Robot
Blade type: PE
Handler type: ARM
Per-aligner
Mini environment
(4) Wires + Ground
AC Distribution box
No transformer
No UPS
No heat exchanger / Chiller
No pump
Frequency: 50 / 60 Hz
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Full load amp: 20 A
Interrupting capacity: 14 kA
2002 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200i是一种高性能的掩模和晶圆检测设备外围设备。它专为改进先进半导体生产的制造工艺而设计,为精密掩模和晶圆扫描提供了卓越的图像质量和对准精度。该系统包括一个高度可靠的晶体样品级,用于精确、可重复定位和对准掩模和晶圆样品,以及集成的图像触觉缺陷检测机制。ACCENT Q200i利用ACCENT级光学和光学级成像技术来成像并揭示当今的超薄半导体结构难以检测的缺陷。它的有效视野扩大到涵盖整个遮罩区域,提供小至1 μ m的区域的详细放大视图。该单元产生的高质量缺陷图像的分辨率大于传统光学方法所能达到的分辨率,使其能够查明甚至是最轻微的保护层沉积缺陷。BIO-RAD Q 200i的高级计算功能允许进行亚纳秒成像和超精确图像分析。机器可以比较多个图像,以便在扫描过程中检测到对齐打滑,并在发生任何损坏之前停止扫描。此功能有助于确保最终产品的最大质量。Q200i在掩模和晶圆成像方面提供了卓越的清晰度、可重复性和可靠性。它可以与现有的自动化设备集成以提高效率,其先进的光学和成像能力为生产质量最高的晶片和设备提供了极好的优势。
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