二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q7 #9112912 待售
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ID: 9112912
晶圆大小: 8"
Wafer inspection system, 8"
CMC Servo Motor: MT2115-014DF
KLK A-10
Xenon Lamp: X58000000, 110V, 50Hz
Control Station: Q7, 110VAC, 50/60Hz.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q7是一种前沿掩模和晶圆检测设备,设计用于半导体掩模和晶圆制造中的经济高效的过程控制、产量管理和缺陷检测。该系统利用先进的光学技术来检测和分析掩模和晶片表面的缺陷,使工艺工程师能够快速识别和纠正可能阻碍生产和产量的问题。Q7单元采用由照明、成像、光学和检测四个不同子系统组成的整体光学机器。此工具旨在实现Exabits以外的光学分辨率,与传统成像系统相比具有明显优势。基于光纤的照明资产允许在掩模或晶片的整个扫描过程中实现光的均匀性。成像子系统提供高清成像功能,不会使传统光学系统模煳或失真,即使是最小的缺陷也能准确捕获。Q7光学模型在线性或发散几何中运行,为精确的缺陷检测和测量提供了更高的精度和更大的视野。最后,检测子系统利用体系结构标记到空间检测算法快速检测表面异常和缺陷。Q7的功能不仅仅是检测缺陷。为了方便测试和数据分析,设备配备了用户友好的图形用户界面(GUI),允许用户控制和配置系统设置,并提供了一套全面的测量和分析工具,可用于检测微小的缺陷和趋势分析。Q7还配备了自动测量单元(AMS),使工艺工程师能够高精度地收集大量数据。这些数据可用于评估制造工艺的有效性、跟踪晶片和确定生产数据的趋势。此数据可以通过USB或以太网上载,从而可以轻松存储和分析大量数据。Q7是低维护,非常擅长以较小的占用空间提供大量数据。其先进的光学功能适用于生产4 nm以下节点的成熟解决方桉和开发过程,从而确保最小停机时间和提高产量。
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