二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q8 #9229790 待售

ID: 9229790
晶圆大小: 8"
System, 8" Control unit Fully robotic with random access Pick and place (2) Cassette user programmable wafer handlers X / Y Stage controlled: Toothed belts to frictionless ball screws & linear roller bearings PEEK FPAS Pre-aligner: Non-edge contact Flat and notch detection Z-Stage movement: Linear direct drive DC torque motor Interfacing hardware upgrade with AGV Wafer cassette audit capability JFDI Optics module DC Servo motor alignment Motorized pinhole Xe Arc lamp illumination FPAS Linear arm Transfer arm Stage top plate 26 Slot flipper upgraded kit.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q8是一种掩模和晶片检查设备,设计用于检查光刻中使用的蚀刻掩模和晶片。该系统由一个8英寸晶圆尺寸的支撑室构成,能够对掩模和晶圆进行高放大成像。它有一个双单元设计,允许两个完整的系统在一个腔室,与FAB 2,光学正确,消色差目标,减少失真和创造高质量的图像从最高分辨率和最佳对比度。对ACCENT Quaestor Q8的光学器件进行了优化,以最大限度地实现任何类型的掩模或晶片中任何大小、形状、材料和方向特征的成像和可检测性,而不会产生失真。它带有一个5轴溷合平移/旋转阶段,能够进行不受限制的运动,从而能够检查尺寸过大的晶片或几何形状非常复杂的晶片。该机配备了一对Dalsa 4百万像素单色相机,以LED、卤素等多种光源捕捉大面积图像。这些摄像头还支持功能丰富的软件,允许用户测量、记录和报告他们检测到的任何异常或缺陷。BIO-RAD Quaestor Q8配备了一个先进的硬件和软件工具,可以在分析任何给定的掩码或晶圆时最大限度地提高其性能和准确性。它旨在实现图像自动采集、产品对齐、缺陷识别和分类。它结合了强大的算法来分割、比较和分析数据,例如丢失/添加的特征的数量,缩小缺陷分析范围并减少误报。该资产还具有模式匹配功能,允许用户立即检测和比较不同的掩码或晶片之间的模式,以及在横截面中查看图像以增强分析的能力。总体而言,NANOMETRICS Quaestor Q8为掩模和晶圆分析提供了一个全面的检验模型。其先进的光学器件旨在确保最高质量和最精确的成像,而其先进的硬件和软件设备则确保了高水平的自动化和精确度。这些功能使用户能够快速轻松地检测和分类任何类型的掩码或晶片上的异常。
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