二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Vertex #9182094 待售
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已售出
ID: 9182094
优质的: 2008
Photoluminescence (PL) mapping system
Laser type / Model: 405nm Cube
Manufacture: COHERENT
Output wavelength: 407nm
Spot size on RPM entry slit: 1.3
Power stability: <2%
Manuals
2008 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Vertex是一种用于半导体制造新产品介绍(NPI)质量保证的前沿掩模和晶圆检测设备。它提供了一个完整的解决方桉,可以快速识别临界和非临界设备层的多个掩模层上的不符合。此工具有助于提高产量并缩短上市时间。该系统是一个小型场发射扫描电子显微镜(FESEM)结合一个快速精确的明场成像单元。它使用专利ACCENT顶点成像机进行排便检查,分辨率高达25微米(μ米)。它扫描多层信号-从抗蚀剂和光掩码蚀刻到有机薄膜和光掩码-并快速检测和评估缺陷。它还能够检测到颗粒、划痕和其他不符合要求的物质,并将其标记为进一步的评估。BIO-RAD Vertex包含高级成像功能,例如3D映射和自动分类的关键缺陷。它还包括高速自动导航,使其能够快速评估大面积缺陷并确定材料结构的可能变化。它处理大型图像数据集,以方便缺陷识别和多层缺陷检测的准确性,以及在相同模具尺寸上出现的缺陷。Vertex提供了广泛的工具和功能,使其适合广泛的应用,包括缺陷审查、产量监控、过程优化和高指标缺陷检查。此外,它还具有从自动缺陷检测到完全关键缺陷分析的功能,从而实现了可靠高效的掩模生产。该公司为NANOMETRICS Vertex提供广泛的服务,包括缺陷分析、产量分析、高级分析和报告。这些服务为制造商提供了全面的检验和质量保证解决方桉。此外,它为缺陷管理和缺陷追踪提供了一个安全可靠的平台。NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Vertex是一种功能强大、可靠的半导体制造掩模和晶圆检测工具。其先进的成像能力、高速导航系统和广泛的服务使其成为各种制造任务的理想选择。资产是高度可配置的,可以根据特定需求进行定制。
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