二手 NANOMETRICS Caliper Elan Ultra #293625744 待售
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NANOMETRICS Caliper Elan Ultra是为半导体制造而设计的先进的掩模和晶圆检测设备。这个功能强大的系统结合了扫描电子显微镜(SEM)技术和用于临界晶片和掩模检查的纳米级成像,允许以最小的特征尺寸进行最高精度的测量。该单元设计用于大型集成(LSI)结构的快速目视检查和测量,以及用于平面外成像和地形检查。Caliper Elan Ultra以6轴电动级易动为特色,拥有高品质电子枪的低噪声电子柱,高解析度数码摄像机,以及高速场发射电子束瞄准机。蒙版和晶片上的电子显微镜图像是由一个先进的光学封装制成的,该封装包括一个阳极、一个标线和一个狭缝工具。该标线提供了一个可调节的狭缝宽度,使电子束能够精确地聚焦在所需的区域或特征上。阳极能够以非常好的对比度拍摄图像,使其成为详细分析的理想选择。狭缝资产允许电子束跟踪和精确成像许多不同的层,而数码摄像机则以全彩色和细节记录所有图像。可调亮度和对比度功能以及一系列基于软件的算法增强了成像能力,以帮助对图像进行分类和自动化处理。使用NANOMETRICS Caliper Elan Ultra,工程师能够检查和测量半导体掩模和晶片上的特性和结构,直至纳米。Caliper Elan Ultra借助自动功能(如用于精确定位和测量的纳米定位、用于高效缺陷分析的成像标记以及获取图像的实时直方图视图),是半导体制造各个阶段必不可少的工具。该模型还具有紧凑的设计和坚固的结构,使其既可靠又易于使用。NANOMETRICS Caliper Elan Ultra是为最苛刻的应用而设计的出色的掩模和晶圆检测设备。它结合了先进的SEM技术和纳米级成像,允许以最小的特征尺寸进行超精确的测量。自动化功能、高分辨率成像功能和多功能性使Caliper Elan Ultra成为任何半导体生产设施的必备产品。
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