二手 NANOMETRICS Caliper Elan #293625779 待售

NANOMETRICS Caliper Elan是一款先进的口罩和晶圆检测设备。它旨在根据各种产品设计标准快速测试和监控光刻工艺性能。该系统结合了自动成像、快速访问数据库、强大的图像分析工具和高级数据分析功能。它用于分析晶片和掩码的可打印性和表面拓扑。它旨在快速准确地检测晶片中的缺陷。该单元支持高对比度成像和多光谱成像,非常适合监视任意数量的过程变量,如线宽、临界尺寸、迭加误差和侧壁角。它还提供了高精度和精确的测量。该机还包括一个功能强大的Caliper软件平台，与各种基础设施集成。该平台使用户能够设置、对齐和控制任务以及可视化实时数据。此外,它还支持单模式和多模式检查,支持手动和自动审核,以及与各种图像和掩码格式的兼容性。该工具可以借助PreScan晶片和掩码预扫描向导实现自动化,该向导允许用户确定检查所需的关键进程参数和对齐方式。Caliper Elan中的Activa Alignment Asset可帮助用户将掩码精确地对齐晶圆的活动区域。该模型还支持模拟打印过程,这有助于在开始生产之前检测潜在的错误。该设备还提供强大的报告功能,可生成各种格式的报告。这可帮助用户跟踪单个流程性能,并将流程性能与以前的结果进行比较。此外，该系统允许用户在全球和个人层面上监测和分析流程。NANOMETRICS Caliper Elan蒙版和晶圆检测仪设计为提供精确精确的晶圆和蒙版测试结果。它具有自动图像处理、多光谱成像功能、强大的报告功能和自动监控功能,是监测和改进光刻工艺性能的理想工具。