二手 NANOMETRICS Caliper Elan #293825603 待售
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ID: 293825603
晶圆大小: 8"-12"
Overlay metrology system, 8"-12"
Wafer handler
Load station
Wafer stage
Wafer chuck
Electronic rack
Board.
NANOMETRICS Caliper是半导体工业的高精度掩模和晶圆检测设备。该系统旨在提供高分辨率成像和分析,以更好地实现关键掩模和晶圆制造过程的过程控制和质量保证。该装置采用自动识别和分析引擎，加上高度集成的光学显微镜机器。自动化工具能够识别和分析蒙版上的各种特性和缺陷,以及蒙版与晶片对齐。资产的显微镜元件提供了一种先进的基于CCD的成像能力，分辨率高达10微米。该型号高度自动化,可用于在生产前和最终生产期间自动检查口罩。它也可以与其他检测设备（如CDSEM或LSA工具）结合使用，以更完整地查看掩模和晶圆质量。该设备在基于Windows的操作系统上运行，并提供直观的图形用户界面。该单元包括强大的数据库和报告功能,允许用户轻松记录、存储和访问所有流程和检查数据。Caliper还提供了根据各种客户尺寸和要求定制机器的灵活性。该工具旨在与现有和自定义自动化系统集成。该资产提供了多种模型特征和参数,允许用户根据自己的特定要求定制检查过程。它也可用于将显微镜的图像发送到其他系统或其他利益相关者。简而言之,NANOMETRICS Caliper提供了功能强大的自动掩模和晶片检查设备,旨在让客户更好地了解和控制掩模和晶片制造过程。该系统是完全自动化和高度可定制的,提供卓越的分辨率以及广泛的特性和参数,用于过程控制和质量保证。
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