二手 NANOMETRICS Caliper Elan #9298745 待售

NANOMETRICS Caliper Elan是一种掩模和晶圆检测设备，设计用于精确测量和记录半导体掩模和晶圆上缺陷的存在、位置和大小。该系统采用自动光学显微镜单元和精密测量阶段。光学显微镜设计用于提供低功率物镜和用于成像的高功率立体放大倍率，以及包括红外和紫外波长在内的多光谱成像。精密测量阶段提供超低惯性运动、快速沉降时间和出色的运动保真度。这台机器能够比以往任何时候都更详细地检查掩模或晶片的所有生产层。使用复杂的算法和自动测量，它可以检测和分类任何大小的缺陷以及确定它们的位置和大小。这样不仅可以识别和解决缺陷,而且可以将任何较大、有问题的缺陷跟踪到其来源。Caliper Elan还具有高级3D和关键尺寸（CD）监督功能。这样就可以快速理解和检查复杂层的结构和结构中的关键维度、关键单个维度中的异常或地形上的错位或形状差异。此外,该工具还可以对侧壁角度、模具尺寸和透明度进行元件检查,从而实现快速准确的诊断。最后,NANOMETRICS Caliper Elan资产提供了一个用户友好的GUI,其中包含可编程模板和可定制视图。直观的平台允许轻松收集数据和高效报告。利用内置的统计审查和报告功能,用户可以生成符合标准的晶圆和掩码图,从而提供对产量的信心并支持故障分析。总体而言，Caliper Elan是一种先进、高效的掩模和晶圆检测模型。它提供了前所未有的成像和分析功能,对于需要快速准确地生产高质量产品的半导体生产商来说,它是一个非常宝贵的工具。