二手 NANOMETRICS Caliper Elan #9390468 待售

NANOMETRICS Caliper Elan是一个可靠、坚固的掩模和晶圆检测平台。它结合了高精度计量和3D成像功能，以确保最高质量的掩模和晶片。该设备利用先进的成像技术对缺陷结构进行分析，快速、准确地进行晶圆对准操作。Caliper Elan的设计目的是高效地发现和分类高分辨率的口罩和晶片上的缺陷。它具有高分辨率图像捕获系统、高速级和先进的成像算法来检测和分类缺陷。该单元能够以2.5微米分辨率捕获图像。而且，它具有捕获每个晶片的多个图像的能力，可以同时进行分析，从而使检查过程更快、更高效。该机器还提供各种缺陷特征和分析。它可以对颗粒、凹坑、短裤、花纹中的颗粒、填充不足的缺陷、线短裤、线对线接触以及高密度的结构进行分类。此外,它还提供3D特性和测量功能,以轻松检测可能影响掩模或晶片质量的任何类型的缺陷。NANOMETRICS Caliper Elan还配备了自动晶片对准和定位工具，设计用于不同晶片之间的精确和可重复对准。这种特性对于大型晶片和面板特别有用，因为精确的对准是必不可少的，特别是为了确保准确的缺陷检查。该资产允许晶片在X-Y平面或沿垂直Z轴对齐,在+/-3弧分内具有角精度和可重复性。Caliper Elan与NANOMETRICS制造设备完全集成，允许与其他晶圆处理设备、数据采集和对准系统实现无缝连接。此外，它还提供了一个图形用户界面，简化了模型的导航和使用。总体而言,NANOMETRICS Caliper Elan是一种多功能的掩模和晶片检测设备,可提供高分辨率的成像和缺陷表征功能,确保高质量的掩模和晶片。它高度可靠、坚固，致力于提高检查过程的准确性和效率。