二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383063 待售

NANOMETRICS Caliper Mosaic是一种掩模和晶圆检测设备，利用激光扫描配合平面成像，获得晶圆、掩模和相关材料中有图案和无图案结构的纳米级图像。该系统具有三个不同的功能：光学测量、成像和掩模计量。使用激光扫描，Caliper Mosaic在7.5微米分辨率（纳米）的晶圆映射模式下提供了小于5nm的最大测量精度。该单元还提供了在正负2纳米范围内精确测量的研磨膜的动态分析。此外，利用其自动逆向工程软件，该机器能够分析从光学扫描的光刻图样表面收集的迭加测量和登记数据。凭借其成像能力，该工具可以提供晶圆和掩模特征的亚微米分辨率成像。使用高分辨率的500万像素物镜获取15微米范围内的图像。获取的图像也可以根据需要进行调整、缩放、旋转和定位。此外,该资产还提供集成的模式比较软件,可用于将光学扫描的功能和项与预先确定的模板列表相匹配。NANOMETRICS Caliper Mosaic也适用于面罩图样的广泛计量操作，包括探针对准、迭加移位测量、CD控制、复杂迭加分析和元件放置。它利用两种匹配的NIST镀层基板来识别迭加位移和误差。然后将生成的数据用于执行迭加控制的失真分析。总之，Caliper Mosaic是一种高度精密的模型，在纳米级分辨率水平上提供全面的掩模和晶圆检测能力。它提供精确的光学测量、成像和掩模计量能力，深入了解用于制造微电子器件的材料的结构和模式。该设备对于需要严格测量精度的工业应用来说是非常宝贵的，因为它可以用来最精确地准确地摇动和检查目标物体。