二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383354 待售
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NANOMETRICS Caliper Mosaic是一款基于协作的高端口罩和晶圆检测设备,为先进的检测能力和可用性设定了行业基准。该系统可以适应广泛的应用领域，从缺陷检查和审查到污染检查以及晶片和掩模的最终远心视图。Caliper Mosaic单元的功能使用户能够使用直观的用户界面轻松设置生产级模式识别功能,从而减少设置和维护时间。NANOMETRICS Caliper Mosaic机器的主要部件包括高分辨率电荷耦合器件（CCD）相机、可移动光学盒和紧凑、坚固的扫描台。强大的CCD相机使用户能够检查薄膜场效应晶体（TFT）晶片、外延晶片以及各种类型的光掩模。它的弱光相机设计允许用户在任何照明条件下进行高质量的检查。同时，它的高分辨率光学器件提供了精确检测缺陷和其他特征所需的精确度。该工具还提供精湛的模式匹配性能，与新开发的"双光束"激光扫描和检查面罩和晶圆模式的边缘快速和准确。激光使资产能够快速准确地检查临界尺寸（CD）和非临界尺寸（NCD）样本。此外,"双光束"激光器的小光束尺寸能够最快地匹配密集模式,最适合捕捉快速移动的模式。Caliper Mosaic模型还具有经过微调的缺陷分类库,该库有助于减少错误警报,以及完整的后处理功能,为用户提供对问题区域的全面评估。这使用户可以更好地控制检查结果,识别较小的缺陷并分析较大的缺陷。NANOMETRICS Caliper Mosaic是一款多功能、高效、可靠的掩模和晶圆检测设备。除了基本的模式匹配功能、缺陷分类和后处理功能外,它还为用户提供准确、精密的检查结果。此高级工具旨在满足所有掩模和晶片检查需求,同时提供易于使用和用户友好的界面。
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