二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9384480 待售

ID: 9384480
晶圆大小: 12"
Overlay control system, 12" EFEM Module BROOKS Razor robot Does not include load port.
NANOMETRICS Caliper Mosaic是NANOMETRICS开发的一款灵活、集成、功能强大的掩模和晶圆检测设备,支持半导体行业先进的工艺控制,提高产量。该系统具有自动光学检查和图像处理功能的优化组合,以及支持图像管理和缺陷分析的一套软件工具。这使设备能够可靠地检测和分类缺陷。机器使用的图像传感器在相位和传输图像中提供快速、低噪声读数。创建晶片的二进制图像,并将其与客户定义的掩码和产品图像进行比较,从而可以检测尺寸小至3纳米的特征。该检查工具采用双光束共聚焦扫描显微镜(DCSM),具有出色的景深和高分辨率成像能力,能够精确查明和描述缺陷。检查资产采用四轴扫描级,能够在X-Y平面上以250纳米的精度进行高速扫描。该模型的图像处理软件包括可以检测到非常微弱特征的算法,如晶圆表面的划痕、颗粒和缺陷,以及特征和缺陷分类算法来区分各种类型的缺陷。此外,该设备还提供了功能强大、用户友好的图形用户界面,简化了检查作业的设计、设置和运行,同时还实现了缺陷图像的自动详细分析和特征描述,使用户能够快速准确诊断和解决产量和处理问题。归根结底,Caliper Mosaic将高分辨率成像、自动图像处理和直观软件相结合,有助于确保客户的质量控制和产量要求得到满足。
还没有评论