二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9390470 待售

NANOMETRICS Caliper Mosaic是一种用于分析纳米级面罩和晶片的面罩和晶片检测设备。它对于检查高密度图样和特征特别有用，这些图样和特征对于传统的光学检查系统来说通常太小。简化的光学设计利用高精度成像光学器件以及先进的数据采集技术来创建一个全面、自动化的晶圆检测系统。Caliper Mosaic单元提供可靠和准确的晶圆图样定量分析,分辨率可达10 nm。该机由成像光学、CCD相机和高性能计算平台组成。其先进的成像光学器件专为增强小几何形状的图像清晰度而设计，同时也将散射光对成像结果的影响降至最低。该工具还能够检查广泛的基材，包括铬面膜、紫外线面膜、标线和不透明晶片。该资产采用了多种先进技术，如高速图像采集模型，该模型最大限度地减少了失真，并采用了在多波长下工作的尖端激光测绘技术，以达到前所未有的检测精度。模式识别、模煳分析等先进的数据分析技术进一步提高了检测过程的质量。该设备还可用于比较两个图像,以便检测到较小的模式差异。用户友好的系统界面提供了对晶圆检测过程的直观控制，具有多种可视化选项。图形显示显示检查结果,并且可以使用相同的软件查看模式、分析检测到的缺陷以及生成详细报告。NANOMETRICS Caliper Mosaic单元可以自动优化各种参数，如焦点、切线以及模式检测的阈值。Caliper Mosaic旨在为晶圆和掩模检测提供全面的解决方桉。凭借其高分辨率的成像和详细的缺陷检测，这种健壮的检测机器确保了准确性、重复性和吞吐量。