二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9411495 待售

ID: 9411495
优质的: 2010
Overlay control system 2010 vintage.
NANOMETRICS Caliper Mosaic是一种精密的掩模和晶圆检测设备,提供景深成像和高分辨率测量。该系统为临界迭加和3D统计过程控制应用提供了无与伦比的准确性。该单元提供了工艺优化、高数据准确性和可重复性的终极解决方桉,并提供了对关键掩码和晶片的详细分析和表征。Caliper Mosaic机的光学套件由高端远心透镜、先进远心光源、精密的帧抓取器和先进的图像处理组成,它们凝胶在一起,提供了高性能的成像解决方桉。远程中心透镜可确保在大视野上的高均匀照明,因此允许3D音量检查。这样可以确保晶片的精确配准、覆盖配准和精确倒角检测。该工具具有精确测量分辨率低至1纳米的临界尺寸和线宽的能力。该资产还具有自动化机器视觉技术,使其能够分析晶圆或掩模的3D表面,并提供其表面特性的精确度量。该模型能够以极高的精度检测微小缺陷,如颗粒、裂纹、掺杂剂扩散和其他异常。该设备还具有先进的傅立叶变换和离散余弦变换算法,可精确测量图像的频谱、相位和对比度。该系统具有手动和自动操作模式,易于使用。手动模式使用户能够完全控制映像过程,并能够捕获、编辑和分析同一环境中的映像。自动模式处理大部分步骤,如与软件对齐和特征识别。NANOMETRICS Caliper Mosaic单元还具有多种高级数据分析工具,可提供有关晶片和掩模的均匀性和表面特性的详细信息。总体而言,Caliper Mosaic机器是一种先进的掩模和晶片检测工具,具有前所未有的精度和性能。凭借其高分辨率的测量能力、3D成像能力和自动化的机器视觉技术,此资产为关键的迭加和统计过程控制应用提供了终极解决方桉。
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