二手 NANOMETRICS M-215 #9226304 待售

NANOMETRICS M-215
製造商
NANOMETRICS
模型
M-215
ID: 9226304
晶圆大小: 6"
优质的: 1989
Thickness measurement system, 6" 1989 vintage.
NANOMETRICS M-215是由NANOMETRICS Incorporated设计制造的高端掩模和晶圆检测设备。它为半导体掩模制造商和集成电路(IC)制造商提供了成像、计量和过程监控功能的独特组合。M-215系统采用最新的手持式原子力显微镜技术,能够以纳米分辨率和准确度扫描二维表面。其设计具有对口罩、晶片和相关材料如光致抗蚀剂、聚合物、薄膜、铅架等工艺残留物的特定检测能力。NANOMETRICS M-215集成了纳米专利的"平面图像处理"(PIP)算法,使其能够精确测量放置的图样和缺陷上的关键地形特征。PIP还允许技术人员从多个角度查看图像,从而使他们能够更好地隔离有问题的区域。该单元提供了几种便利,例如直观的图形用户界面(GUI)。GUI提供了在给定的掩码或晶片上执行各种任务的能力,如模式识别、缺陷识别以及精确的尺寸和特性确定。这使得M-215非常适合缺陷检查和工艺优化。除了PIP之外,NANOMETRICS M-215还具有基于高级算法的自动图像恢复功能,可用于评估表面或织物不均匀的材料。它还能够识别翻转角并精确测量所需的参数,例如线宽、螺距、外形尺寸、工艺元素、拓扑和缺陷。而且,机器配备了特定于过程的分析能力,模拟各种半导体的过程步骤来检查兼容性,优化它们的性能。简而言之,M-215代表了参与高级掩模和晶圆检验的任何制造商或研究人员的精密工具。该工具结合了创新的成像和计量功能、复杂的算法以及可靠的自动图像恢复,在检查和表征材料时提供了卓越的功能和准确性。
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