二手 NANOMETRICS M-5000 #9159251 待售

NANOMETRICS M-5000是为大批量生产环境设计的掩模和晶圆检测设备。该自动化系统提供晶圆几何的缺陷地形和特征测量的精确测量。该装置利用先进的成像技术来捕捉晶圆的详细图像，并使用快速激光扫描头在大面积上绘制缺陷。NANOMETRICS M5000利用振荡Y轴机构和高速X轴级/镜像,能够在一次扫描中扫描单个晶片,而不会中断。这样可以以更高的精度减少吞吐量时间。高度集成的计量机为2D和3D图像捕获提供了暗场和明场成像,实现了卓越的缺陷表征和晶圆计量学。M-5000采用复杂的算法对图像进行分析，然后计算出各种缺陷参数。集成软件工具支持快速准确地测量元件的尺寸、距离和角度,以及边缘绘图、评分和基于层的颜色对比的能力。检查资产收集的数据以全面的图形用户界面显示，大大提高了缺陷可见性。凭借其高分辨率相机和集成的测量工具，M5000已被证明可以提高客户的制造产量。此外，NANOMETRICS M-5000包括一系列自动校准和验证程序，这些程序可配置用于晶圆的清洁室和非清洁室形状，以及单区和多区轮廓/非轮廓晶圆表面。此外，NANOMETRICS M5000模型的先进成像能力使它能够监测较小设备中的缺陷，如耀斑和斜面缺陷。其直观的导航控制设备有助于减少缺陷检测时间，同时提高缺陷检测精度。该系统还通过生成PDF或表格报告来帮助处理缺陷报告。总体而言，M-5000是为半导体行业大批量生产而设计和制造的先进计量单元，提供详细的缺陷地形和特征测量能力。该机器非常先进,可提供显着的吞吐量和准确性优势,对生产和制造过程极为重要。