二手 NANOMETRICS M6100A #9165235 待售

NANOMETRICS M6100A是一种设计用于半导体制造的高性能掩模和晶圆检测设备。它用于检测电路和组件中可能影响最终产品性能的任何潜在缺陷。M6100A提供了一些高级功能,以提高其性能和准确性。由广角CCD相机、lnPs（雷射反射模式识别处理器）和离轴照明光学器件组成的自动光学检查系统为光刻模式提供了卓越的成像效果。该装置能够检测分辨率低至50纳米的晶片。多区高能激光器也可用于曝光光刻图样内非常小的预定义区域。超高分辨率成像机有助于验证光刻图样的缺陷和准确性。NANOMETRICS M6100A配备了高精度级，可以在检查和晶圆处理过程中精确对准晶圆。该工具可容纳直径不超过200毫米的晶片,并且与所有领先的晶片处理框架兼容。M6100A提供了其他几个功能来增强其性能。集成的低振动工作站可用于分析因外部振动而产生的最小干扰的小型结构。有一种氮等离子体洗涤装置，便于在检查前快速清洁晶片表面。集成的数字数据采集资产允许用户可视化和存储测量结果。总体而言，NANOMETRICS M6100A是一种功能强大的高性能掩模和晶圆检测模型，设计用于半导体制造。它提供卓越的成像能力、高分辨率检查和精确的晶圆处理能力。强大的设计和功能使M6100A成为高容量电子元器件高质量生产的理想解决方桉。