二手 NANOMETRICS M6100UV-L6 #9257609 待售

NANOMETRICS M6100UV-L6是在制造过程中检查集成电路的掩模和晶圆检测设备。它能够检查各种模式和特征，包括miniflat结构、线条和空间。M6100UV-L6用激光束扫描表面的微小缺陷和偏差。它的光学系统包括蚀刻的反射镜，可以减小激光束的大小，达到高达97倍的放大倍率。该装置配备360度CCD（带电耦合器件）相机，提供掩模或晶圆的3维透视，并使用高分辨率光学器件来识别低至2微米的缺陷。CCD相机还具有自动对焦跟踪功能,可以检测和纠正扫描平面中光束的错位。此外,可选的背光源还可确保容易检测和突出显示深色特征（如透硅通气）。这款扫描仪还配备了多种其他功能，包括电动xyz级，允许在单个晶片或掩模上的各个位置之间快速移动。此外,还可以使用包含的桌面应用程序软件快速查看和分析高分辨率图像。该软件允许用户生成和保存报告,这些报告提供有关观察到的任何错误缺陷的性质、大小和布局的详细信息。总体而言,NANOMETRICS M6100UV-L6是一种先进的掩模和晶圆检测机,具有许多优点,包括非常详细的检查记录以及能够轻松查明和识别任何有缺陷的组件。通过提供详细的报告,工程师可以查明开发周期中的问题并快速识别和纠正这些问题,从而加快生产周期并节省成本。