二手 NANOMETRICS NANOLINE 50-2 #9193170 待售

NANOMETRICS NANOLINE 50-2是一种自动化的高速掩模和晶圆检测设备,旨在以非常高的精度检测和分析各种关键缺陷。该系统采用装有直接驱动和高分辨率非接触线性编码器的晶片承载级，用于晶片在该级内的超精确移动和对准。利用机动化的theta级进一步提高了该级的精度，以精确定位晶片。另外，一个具有可变数值孔径的物镜允许单位提供高分辨率成像的小间距图样。该机器能够对晶圆的每个象限进行全场检查，并使用标准的校准滑条或楔子进行自动校准。除了校准外，NANOLINE 50-2还提供全面的测量和对准功能，以确保精确的测量。对于缺陷分析和表征,该工具附带一个高级方法编辑器软件,该软件支持多种类型的成像分析技术,如亮场、暗场、相位成像、APS、CWF和Coloumns。对于缺陷检测,提供阈值和像素测量,并且该资产具有线模式匹配功能,因为这些模式存储在数据库中。此外，还包括一个基于直方图的多区域仪器，可以检测低于显微镜分辨率的模式偏差。为支持进一步的缺陷检查，该型号内置了可提供可变照明水平的漫步LED照明设备，使用户能够实现更高的对比度。可以检测到打印缺陷、蚀刻缺陷、颗粒缺陷等多种缺陷类型。系统还配有嵌入式高性能PC和21英寸大触摸屏显示屏，方便界面操作。此外,PC还提供与外部数据库和设备的网络连接,提供复杂的数据分析和工作流控制。综上所述，NANOMETRICS NANOLINE 50-2掩模和晶片检测仪是一种自动化的高性能机器，旨在对晶片上的各种缺陷进行可靠的检测和分析。该工具非常精确,为校准、缺陷检测和特性鉴定提供了多种功能。集成的PC和大型触摸屏显示屏非常适合用户轻松操作,漫步式LED照明和可倾斜的目标允许使用多种成像技术对缺陷进行详细分析。