二手 NANOMETRICS NanoSpec 181 #63433 待售
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ID: 63433
晶圆大小: 3", 4"
优质的: 1986
Film thickness analyzer
Model No.: 7000-0092
Measures (11) film types: silicon dioxide, silicon nitride, negative and positive resists, polysilicon, thin oxides and nitrides, and polyimide on silicon
Range: 480 to 800nm
CS-2 computer
Wafer shuttle stage for 3/4" wafers
OLYMPUS objectives: 5x/10x/40x M Plan
WYSE terminal
Voltage: 110V
1986 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 181是为广泛的半导体制造应用而设计的掩模和晶圆检测设备。它利用一个专有的图像处理系统,结合一系列成像和光学系统,以确保纳米分辨率的高精度成像。该单元以1nm (1纳米)的精度和精度进行光学测量。NanoSpec 181具有晶片级和独特的六脚架定位机,提供6轴运动控制和卓越的稳定性。这样可以实现高度精确的样本对齐和一致可重复的测量精度。NANOMETRICS NanoSpec 181的成像子系统基于工作距离长的双镜头光学,是3D成像的理想选择。采用了步进和扫描技术,采用高分辨率线扫描相机,在舞台移动时捕捉样本图像。然后将图像实时缝合在一起以构建详细的3D地图。直线扫描相机提供高的最大帧速率和动态对准。NanoSpec 181还具有宏检查模式。这使用户能够以相同的详细程度系统地扫描每个晶片的大面积区域,提供对其表面结构的完整了解。有几种模式操作,包括缺陷检测、迭加测量和晶须检测。NANOMETRICS NanoSpec 181使用户能够快速、精确地捕获来自半导体器件不同层的必要数据。生成的图像和数据可以可视化、存储并随后用于过程优化和提高设备产量。该工具易于使用,非常适合演示数据的极高精度、精确度和可重复性。NanoSpec 181结合其精密的成像资产、创新的力学和直观的用户界面,是在工业半导体制造中提供准确、可重复结果的理想模型。
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