二手 NANOMETRICS NanoSpec 181 #9266797 待售
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ID: 9266797
Film thickness measurement system
Head assy:
Photo multiplier tube
Wavelength counter
PCB Pre-amp
Realign head optics
Computer assy:
Main power supply with harness
CPU and I/O PCB
Microscope assy:
R&R Microscope stand, 4"
Rework stage
Microscope lamp.
NANOMETRICS NanoSpec 181是一种掩模和晶片检验设备,设计用于对半导体掩模和晶片进行高度精确的检验。该系统利用高精度和可重复性的彩色迭加测量(COM)技术来检查特征尺寸小于0.2微米的图样。这使得NanoSpec 181非常适合光掩模、光刻、蚀刻和CMP等工艺。NANOMETRICS NanoSpec 181采用高分辨率5.1兆像素相机和彩色迭加测量,允许检查256个灰色阴影和8个颜色尺寸。这提供了对阵列特征(包括缺陷)的广泛可见性。该单元具有用于快速检测缺陷的自动模式识别功能,以及用于细微特征详细分析的放大到1.3nm的功能。机器还包括全面的特征分析功能,如面积和长度测量、纵梁分析和过程分析。这样就可以生成各种自定义报告,以跟踪运行过程的性能。该工具还内置了对分层缺陷检查和多层审查的支持。NanoSpec 181是一种健壮可靠的资产,易于使用。它利用清晰易行的图形用户界面,并包括用于快速诊断和纠正缺陷的直观缺陷检查器工具。该模型还包括一个高级调试功能,旨在让工程师快速建模和分析缺陷趋势并确定纠正措施。总体而言,NANOMETRICS NanoSpec 181是高分辨率掩模晶片检测应用的绝佳选择。它易于使用,并提供多种功能,使其成为检查功能尺寸小于0.2微米的掩模和晶片的理想选择。它非常可靠,可以帮助减少与过程相关的缺陷,帮助确保高产品质量和可靠性。
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