二手 NANOMETRICS NANOSPEC 200 #9407282 待售

NANOMETRICS NANOSPEC 200
ID: 9407282
Film Thickness Measurement System Table top.
NANOMETRICS NANOSPEC 200是一种用于生产测试和研究应用的掩模和晶圆检测设备。它将高分辨率成像功能与满足业界最苛刻的检查任务要求的性能特性相结合。NANOSPEC 200提供掩模对晶片检查能力、可编程扫描阶段、晶片对准专有软件、先进信号处理技术和高分辨率成像系统。该单元的高图像保真度和信噪比使得它非常适合需要精确微米级测量的检查。NANOMETRICS NANOSPEC 200包括一台先进的成像机和光学器件,配有高分辨率级和扫描软件。该工具的成像分辨率为5纳米,动态范围为5个数量级,灵敏度为1皮米。该成像设备能够检测小至5纳米的缺陷和形状,而信号处理技术使光学参数的先进测量达到1皮米。该模型包括一个可调波长和偏振滤波器,允许用户为其特定应用选择最佳参数。可编程扫描阶段提供了一系列的行程,以及高水平的准确性和可重复性。这允许从小芯片到大晶圆的各种样本量和类型。此外,NANOSPEC 200还具有可编程的子分辨率模式,可以更精确地测量较小的物体,即使它们在标准成像模式下不可见。该软件还包括一个全面的缺陷分析例程库和一个直观的界面,确保快速和高效的检查。此外,NANOMETRICS NANOSPEC 200还包括用于晶圆夹层的内置LiNbO3锂和用于温度控制和掺杂剂固化的烘烤、烘烤平台。该设备还配备了用于多波长检查的机动炮塔,能够同时测量多个参数并优化检查效率。总体而言,NANOSPEC 200提供了强大的功能组合,旨在满足研究和生产环境的需求。该系统提供高分辨率成像和性能特性,非常适合进行掩码和晶圆检查任务。
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