二手 NANOMETRICS NanoSpec 210 #142743 待售

NANOMETRICS NanoSpec 210是一个掩模和晶片检查系统，设计用于通过各种成像技术和检查方式对掩模和晶片进行自动化和无损审查。NANOMETRICS NANO SPEC 210为掩模和晶片检查提供了一个全面、可重复的解决方桉,包括粒子检查和缺陷检查以及层对层集成的审查。NanoSpec 210的性能基于高质量的光学、动态图像校正以及灵活的成像模式和模式。所有表面缺陷和颗粒都在暗场中被照亮，并利用真正的抗蚀剂表面共聚焦视图来降低噪声和提高分辨率。图像处理是通过结合动态可调窗口、专用滤镜以及多重对比度和边缘增强方法，生成清晰清晰的图像来实现的。该系统具有多种无损检测模式,能够对各种掩模和晶片层的模式和缺陷进行成像和检查。自动注册算法可检测和精确测量颗粒,而后模式缺陷验证可确保准确自动地检测到不需要的缺陷,如桥接和划痕。NANO SPEC 210还具有自动缺陷分类功能。缺陷类型（如短裤、打开、断开、接触孔和过渡）将被识别并添加注释以进行验证。使用用户定义的规则，还可以识别错误的打开、桥接和缺口缺陷，确保所有缺陷都得到正确的表征和准确的跟踪、记录和纠正。NANOMETRICS NanoSpec 210还提供了一系列计量解决方桉,如CD-SEM、线宽测量和临界尺寸变化。定量CD分析进一步支持交叉晶片异常及CD漂移和CD均匀性的识别，提高了布局和工艺产量。NANOMETRICS NANO SPEC 210紧凑直观的设计,实现了高效的设置和操作。用户友好的软件界面提供快速、简单的导航功能,并辅以一系列教程指南、预先配置的工作流和批处理功能。还提供全面的现场安装和培训服务,为客户提供完整的系统支持和帮助。