二手 NANOMETRICS NanoSpec 210 #293823936 待售

NANOMETRICS NanoSpec是由NANOMETRICS, Inc.开发的"掩模和晶圆检验"设备。它旨在全面了解特定于应用程序的集成电路（ASIC）的制造和性能。设备扫描掩码是否有缺陷,确定与质量相关的问题,并确定集成电路的结构和电气参数。NanoSpec将高分辨率工具和功能强大的软件套件与一系列用于评估和验证复杂集成电路的高级技术结合在一起。该系统可以快速检测和诊断细小的特征,如狭窄的线条、细小的圆点和非常精细的细节,并拒绝超出规格的设备。NANOMETRICS NanoSpec提供准确的缺陷检测、低错误故障率、高吞吐量和广泛的计量功能。NanoSpec设备采用两级检测单元,具有光学和电气微观检测功能。首先，光学微检测机用高能束照亮样品，像电子显微镜一样，检测微级缺陷。然后，电子微检工具对样品施加电信号，测量电阻或电容等宏观电平参数。结合这两个检查阶段，NANOMETRICS NanoSpec可以检测小至1微米的结构缺陷，并精确测量金属、通气和节点分辨率低至0.1微米的接触。此外,该资产还提供对照明、聚焦和探测器的独立控制,以便与其他设备（如CD SEM）集成。NanoSpec设计为交钥匙模型,包含缺陷检查、设备特性鉴定和高吞吐量所需的所有组件。它的设计-救援、产量改进和故障分析的一整套工具可以定制以满足客户的应用。此外，它定义明确的过程算法，如过程集成和维护，使得操作更容易和可靠的结果。总而言之,NANOMETRICS NanoSpec是一种通用的检测设备,能够快速准确地检测集成电路中的缺陷并确定电气参数。它是制造ASIC的宝贵工具,必将有助于降低成本和提高设备性能。