二手 NANOMETRICS NanoSpec 210 #9256979 待售

NANOMETRICS NanoSpec 210是一款功能强大的掩模和晶圆检测设备,旨在帮助半导体设计和光刻专业人员实现其最苛刻的应用的最高精度和可靠性。该系统结合了广泛的检查功能,如高级光束分析、共聚焦显微镜和迭加计量,以及业界领先的自动化水平,为当今的高级设备提供最高性能的成像。NANOMETRICS NANO SPEC 210的核心是一个高分辨率的5轴级单元,可在其整个工作表面精确控制。这一阶段能够支撑尺寸高达300 mm的晶片，实现高达0.45毫米/秒的X-Y速度。该机还采用了先进的成像引擎，将1664 x 1044硅CMOS图像传感器与10倍还原光学器件结合在一起，提供快速、高分辨率的成像。刀具的光束轮廓分析功能是无与伦比的,它具有多种工具来测量和表征光的入射角和扩散。例如，资产具有可变虹膜特征，允许用户在扫描的同时调整光束的大小以获得更高的精度，以及极化照明特征，可以减少对比度和降低噪声。NanoSpec 210还具有最先进的迭加计量功能,使用户能够测量与高级平版印刷功能相关的对齐和迭加误差。该模型具有高达15微米的测量范围和能够自动识别偏移和误差的特征识别算法，使得对齐和迭加计量成为一种微风。最后，检查设备还提供高分辨率共聚焦显微镜，允许测量特征大小、性质和形状，远远超出传统显微镜的分辨率。这种高度精确的成像技术可以用来精确测量亚微米结构和特征，让用户检测到甚至最轻微的偏差。总而言之，NANO SPEC 210是一个强大的掩模和晶圆检测系统，旨在满足即使是最苛刻的半导体应用的严谨要求。凭借强大的成像和测量能力,此设备非常适合提供最高精度和可靠性。