二手 NANOMETRICS NanoSpec 210 #9372725 待售

NANOMETRICS NanoSpec 210
ID: 9372725
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec 210是一种综合性的掩模和晶片检查设备,旨在测量和分析掩模和裸晶片的缺陷。该系统采用高功率LED阵列的光源,可为各种基板提供明亮的照明,包括金属面罩和晶片。NANOMETRICS NANO SPEC 210还包括一个高品质、500万像素CCD相机和一个具有集成场挡的远心镜头,允许精确测量和检查分辨率高达2.5 μ m的晶圆特征。该单元包括一个功能齐全的计量软件包,具有用于测量和分析缺陷的自定义功能,以及一个校准实用程序,以确保准确性和可重复性。NanoSpec 210使用激光驱动的图像锐化(LIS)技术、专有的模式识别算法和高速缺陷检测机来快速准确地识别缺陷,即使是那些位于阵列掩码最深凹处的缺陷。该工具能够在单个测量中自动分析和分组缺陷,提高测量精度,并为自动查看内容提供深度首选项。高度敏感的算法缺陷分析引擎允许即时生成和分析自动缺陷列表文件,并且该资产具有强大的图像处理引擎,用于掩码和晶圆的修复、清洁和优化。该模型的高级成像和分析功能不仅限于识别和分析缺陷。它可以执行广泛的分析以揭示接触孔缺陷、模具尺寸和形状以及轨迹、导电层等。该软件允许用户使用大小、形式、信号和背景等参数快速搜索和比较不同的标签,并且可以测量、分析和记录各种工艺参数,如螺距、线宽、特征大小、迭加和灰度。此外,NANO SPEC 210能够快速生成各种图像增强参数,以支持困难的测量。NANOMETRICS NanoSpec 210是一种高度坚固的设备,设计用于恶劣的环境,如半导体制造厂。该系统采用节能、无风扇的设计,能够在不发出噪音或振动的情况下运行,其高度耐用的结构允许在更广泛的环境条件下运行。该设备的设计还便于与现有设备集成,从而在现有生产线内实现无缝运行。其直观的用户界面以及动态可视化和分析功能使其成为行业领先的生产设施中质量控制和产量优化的绝佳选择。
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