二手 NANOMETRICS NanoSpec 2100 #9105591 待售

NANOMETRICS NanoSpec 2100
ID: 9105591
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec 2100是一种用于半导体行业质量保证和半导体器件缺陷分析的掩模和晶圆检测设备。该系统由强大的激光、光学阵列和扫描级组成。激光为连续波,532nm绿色激光源,光束散度小于0.1mrad。光学阵列的数值孔径为0.60,允许0.1µm分辨率。扫描仪有一个X-Y级,可容纳200毫米晶圆或基板。该单元的扫描速度从0.5µm可调至4m/s。该机动态范围为0.2-2000µm,使其能够检测尺寸小至0.2µm的微电子结构。NanoSpec 2100具有多种图像处理功能,可用于检测缺陷类型和大小。该工具还可以识别和标记不同的缺陷类别,如表面污染、划痕和颗粒堆积。NANOMETRICS NanoSpec 2100具有用户友好的界面和直观的控件。它具有高级选项,如作业编辑和晶圆映射库,使生成和分析预定义的检查图像更加简单。资产还包括内置的统计分析和报告能力,帮助用户确定产量趋势。NanoSpec 2100既快速又通用,允许用户快速排除故障并优化生产过程。它可以执行晶片和掩码检查,使用户能够简化晶圆厂流程并提高吞吐量。该型号符合行业标准,具有可靠的安全功能,提供可靠且不间断的性能。总体而言,NANOMETRICS NanoSpec 2100是一款先进的掩模和晶圆检测设备,具有强大的分析能力。是半导体制造过程中质量保证和缺陷分析的理想选择。NanoSpec 2100高效可靠,可帮助用户节省成本并提高质量。
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