二手 NANOMETRICS NanoSpec 2100 #9407283 待售
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NANOMETRICS NanoSpec 2100是由NANOMETRICS生产的可靠高效的自动化掩模和晶圆检测设备。该系统是为分析、控制和保证半导体制造中的缺陷检测而设计的.它提供了最先进的功能,以提高产量,吞吐量和质量保证过程。该单元由模块化、广域检测引擎、先进探测器和精密软件组成。面罩和晶片的检查是由机器的定制设计的高分辨率成像光学和线性透镜相机启用的。相机对自动对焦、像素映射和场移校正是负责任的。此外,该工具还具有高度灵敏的CCD检测器,其动态范围超过90 dB,具有深冷的温度稳定性,而且即使是最小的缺陷也具有出色的弱光检测能力。NanoSpec 2100依赖高级软件工具套件。此套件集成了本机缺陷检测以及基本的审阅和报告生成功能。综合软件提供缺陷分析、与其他检查和审核工具的快速轻松连接、智能缺陷分类和机器学习功能。此外,该资产还提供了一个基于Web的用户界面,用于远程数据访问和对制造过程的控制。在模型的核心,有各种面罩和晶圆传输系统,使最大的灵活性和过程吞吐量。NANOMETRICS NanoSpec 2100的扫描速度高达500 mm2/sec,宽视场360°。这使得它成为高电压、高复杂度电路设计的理想掩模和晶圆检测设备。除了其先进的功能外,NanoSpec 2100还配备了几个安全功能。一个喇嘛系统与该装置的设计相结合,该装置的设计既是为了保护检验机器,也是为了保护被检验的晶片和面膜。喇嘛工具提供了额外的安全余地,确保任何观察到的缺陷从检查区域移开而不会受到任何损害。NANOMETRICS NanoSpec 2100是自动掩模和晶圆检测部门的高效工具。其先进的传感器、光学和软件工具,加上广泛的检查和安全功能,使其成为任何半导体生产设施的可靠和通用的仪器。
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