二手 NANOMETRICS NanoSpec 212 #9217219 待售

NANOMETRICS NanoSpec 212
ID: 9217219
晶圆大小: 6"
Film measurement system, 6".
NANOMETRICS NanoSpec 212是一种先进的掩模和晶圆检查设备,利用激光和光散射测量技术相结合。该系统设计用于检测图样化的光掩模和晶片,用于图样校正、检查图样和细节分辨率测量。作为业界领先的计量工具,NanoSpec 212在非接触式工具中提供了最高的速度、最佳的可重复性和最精确的成像功能。NANOMETRICS NanoSpec 212由三个主要元素组成。这些是探测室、照明单元和探测器。探针室的设计目的是创造一个极端稳定的环境,在其中进行扫描。机器的高度同步的工作允许均匀和恒定的照明,导致很大的均匀性。采用非球面冷凝器对腔内激光束进行准直,扫描集成确保精确、可重复的测量和成像。照明工具包括激光源和光学器件,旨在产生均匀、可重复的光斑大小和强度。激光配置有特定的波长,具体取决于应用。此资产允许宽线宽或掩码特征要求分辨率。探测器由硅相机和成像固件组成,旨在检测来自衍射光栅的光,并在显示器中创建数字图像。然后将此图像传输到软件进行分析。通过此过程,NanoSpec 212能够分析所有类型的掩模模式和特征,并提供无与伦比的成像和精确测量。NANOMETRICS NanoSpec 212配备了直观的UI和软件,可实现快速轻松的模型控制。软件和数据分析包括一套广泛的功能,有助于有效监测和处理数据。这样可以实现高分辨率成像、精确测量、掩模和晶圆检查等等。总体而言,NanoSpec 212是一种高度先进的掩模和晶圆检查设备,它利用激光和光散射技术。稳定的探针室、照明系统和探测器,加上人性化的软件,提供了高度精确的成像、优越的精度测量和准确的数据分析。这使得NANOMETRICS NanoSpec 212成为检验行业的完美工具。
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