二手 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9187358 待售
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ID: 9187358
晶圆大小: 3"-6"
优质的: 2006
Film thickness measurement system, 3"-6"
With IRVINE Ultrastation 3.B autoloader
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 s to 4 s per site
Data management:
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Hardware configuration:
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz PC With 3.2 G hard dive, 64 RAM
Performance:
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Electrical power:
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2006 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000是一种面罩和晶圆检查设备,旨在满足业界最严格的要求。它具有高速、高分辨率的数字成像系统和先进的专有工具套件,专为高精度和可重复性检查掩模和晶片而量身定制。该设备先进的光学和机械组件可满足各种关键成像需求。它具有可变变焦功能和高反射率五棱镜成像镜的对角线光学目标,确保了最佳的图像捕获速度和可重复性。NanoSpec 3000还采用了数字电动XY-Knife激光自动对焦机,其设计目的是在晶圆或掩模的所有区域提供稳定的动态聚焦。NANOMETRICS NanoSpec 3000还包括扩展工具用途的一系列功能,例如掩码分析工具。这是为了在晶圆製造过程中,精确地将蒙版与原始设计作比较而设计的。它使用先进的算法快速准确地执行掩码参数提取,以校正光学和几何失真。该资产还提供了一个可选的几何失真校正算法,允许用户考虑在光掩模制造过程中引入的像差。这是使用专有的参数阵列来实现的,以确保图像与原始设计保持完全一致。此外,NanoSpec 3000还提供了一系列数据采集选项,包括Nanometer®数字成像模型。该设备结合了高分辨率、高速图像采集系统和一套先进的数据分析和图像处理工具。它旨在使用户能够快速轻松地查看、比较和分析NANOMETRICS NanoSpec 3000生成的数据。NanoSpec 3000还提供了广泛的可选附件,如自动晶片处理单元、鲁棒片识别机和功能强大的可视化工具。所有这些功能使NANOMETRICS NanoSpec 3000成为满足半导体行业苛刻的掩模和晶圆检测需求的理想选择。
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