二手 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9220802 待售
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ID: 9220802
晶圆大小: 3"-6"
优质的: 2001
Film thickness measurement system, 3"-6"
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 s to 4 s / site
Data management:
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Hardware configuration:
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz PC With 3.2 G hard dive, 64 RAM
Performance:
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Electrical power:
Lamphouse: 50 W
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2001 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000是一种高性能的掩模和晶圆检测设备,它结合了先进的技术来提供高质量的成像和各种各样的缺陷检测功能。NanoSpec 3000利用四个通道收集各种高分辨率图像,利用CMOS技术和高端光学设备在分辨率和对比度方面均表现出色。这四个通道可用于图样检查,近红外(NIR)用于CD测量和覆盖检查,紫色(Vis)用于2D边缘和晶圆形状扫描,UV用于3D地形分析。这些通道协同工作,为用户提供所拍摄图像和存在缺陷的全面信息。该系统包括一个集成的全场搜索引擎,有助于加快检查时间,使排便图像的趋势更加明显。NANOMETRICS NanoSpec 3000还包括大量的样品掩码和晶片库,允许快速设置和比较,以及高性能缺陷管理器,用于将潜在缺陷与预期的设备参数进行比较,为用户提供有价值的故障信息。NanoSpec 3000还具有先进的自动化功能,包括多级晶片保持、360度晶片扫描和高精度针头对准。通过这些高级功能,NANOMETRICS NanoSpec 3000即使在不断变化的生产条件下也能够提供快速、准确和可重复的检查。此外,该单元还配备了高级软件套件,允许用户控制整个工作流,编辑测量,并对测试图像和数据进行分析。为确保可靠性,NanoSpec 3000针对各种晶圆基板和厚度进行了优化,并且该机器的设计符合所有适用的安全标准。凭借可靠的性能和一致的精度,用户可以依靠NANOMETRICS NanoSpec 3000获得卓越的晶圆和掩模检查结果。
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