二手 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9386854 待售
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ID: 9386854
晶圆大小: 3"-6"
优质的: 2001
Film thickness measurement system, 3"-6"
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 sec to 4 sec
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz
Hard dive: 3.2 G
RAM: 64GB
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Lamphouse: 50 W
Power supply:
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2001 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000掩模和晶片检测设备是一种先进的高分辨率检测系统,旨在准确评估掩模和晶片上的特征尺寸和模具特性。它被用于新产品的研发,以及在集成电路的生产过程中。NanoSpec 3000具有基于空气轴承的高分辨率图像采集和信号处理单元,旨在研究掩模和晶片上的亚微米结构。该机器包括一个自动化的视觉工具,可以快速分析和成像面积从几微米到几百微米的大小。此外,它还可以从多种角度捕捉图像,包括75°、60°和45°,为用户提供所检查对象的完整视觉图像。与其他检查系统不同,NANOMETRICS NanoSpec 3000还具有精确的视觉位移级,可以在x、y和z方向移动样品,从而可以进行精确的测量。这允许用户手动调整和提取精确的测量数据,以及分析整个模具的任何不规则特征。该资产还具有进行无损晶片测试和分析的能力。使用实时成像和多个感兴趣的区域选择,用户可以快速访问和查看各种晶圆结构和组件上的数据。此过程可帮助评估正在测试的晶片上的任何局部缺陷和/或像差的完整性,而不会中断设计。NanoSpec 3000还具有高速实时处理模型,用于使用数字光学方法分析关键尺寸(CD)。此外,用户还可以利用光发射显微镜获取ICs的地下图像,或利用光谱测量来分析显示参数和测试由薄膜或工艺参数引起的光谱变化。最后,掩模和晶片检查设备还将生成测试期间生成的数据报告。这有助于过程故障排除和提高生产过程中的总体产量。综上所述,NANOMETRICS NanoSpec 3000是一个功能强大的检查系统,能够对掩码和晶片进行完整的可视化分析。它包括自动化视觉单元、精确视觉位移阶段、无损晶片测试和分析以及高速实时处理机等功能。所有这些功能的结合使NanoSpec 3000成为准确评估掩模和晶片上的特征尺寸和模具特性的理想选择。
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