二手 NANOMETRICS NanoSpec 4000 #6696 待售
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ID: 6696
System
Head assy:
Photomultiplier tube
Wavelength gears
Voltage regulator PCB
Realign head optics
Computer assy: CS-9
Main power supply
RAM/ROM PCB
R&R all PCB's
PC computer:
NANO 4000
Microscope assy:
R&R microscope stand and stage assy with focusblock
Stage addy with 6" capability
Microscope lamp
Optics 5x, 10x, and 50x (15x for UV)
Color monitor with keyboard
Optional:
8" wafer capability
Photomultiplier tube
Standard film type measured: / Typical range: / Typical repeatability:
Single layer films visible UV: / 500-50.000A, 25-500* / 2A
Triple layer films consult factory: / - / -
Single layer thick films visible: / 4 - 75 micron* / 1%
Double layer thick films consult factory: / - / -
Reflectance visible UV: / 400-850 run, 200>400nm / 0.4%, 0.2%
Oxide on poty UV: / 150-10.000A / 2A
Oxide on metal visible UV: / 3,000-20,000*, 500-5,000A / 3A, 3A
Double layer films visible:
Top layer / 100-30.000A / 2A
Bottom layer / 100-10.000X / 8A.
NANOMETRICS NanoSpec 4000是一款功能强大的掩模和晶圆检测设备,旨在全面覆盖您的半导体生产过程。利用先进的光学成像技术，该平台提供了纳米精度和可重复性，使晶圆和掩模检测具有无与伦比的精度和速度。该系统能够检查尺寸从2微米到2毫米不等的设备，并且可以进行编程以检测和测量尺寸小于10纳米的特征。NanoSpec 4000的核心配备了自动掩码和晶片检查子系统,该子系统使用模式识别算法检查单个层的布局,以比较所需层与实际层。该单元能够以极高的精度和可重复性检测最小特征大小,其自动化光学系统允许快速、高精度的图像处理,以便仅选择性地评估所需的图样区域。NANOMETRICS NanoSpec 4000还提供了高级测量功能,该平台能够捕获、存储、分析和解释多个表面地形参数。利用纳米精度，该机器能够产生高度精确的表面测量、最小/最大值和表面粗糙度可能性。此优势扩展到垂直和水平测量,可帮助制造商准确测量和诊断晶圆或掩模设计中出现的任何问题。先进的图像校正和图像分析功能可实现掩模和晶片的精确对齐,而真正的色彩亮度可确保输出的图像具有明亮而准确的颜色。提供综合数据输入、硬件/软件测试编程和校准功能,以及一系列专业分析和审查工具。NanoSpec 4000旨在满足当今高精度制造环境的质量控制和检验需求。其无与伦比的精确度和可重复性组合,再加上先进的成像和测量功能,为确保半导体生产以最高效率运行提供了必要的保证。
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