二手 NANOMETRICS NanoSpec 4150 #9105594 待售

NANOMETRICS NanoSpec 4150是一种微检验技术，结合了先进的光学和高分辨率的彩色数码相机，使半导体行业中的蒙版和晶圆都能被检验。该工具提供了非常详细的缺陷图像,并为特定缺陷区域提供了工具设置,以便进行尺寸评估。NANOMETRICS NanoSpec平台由高分辨率3 CCD相机和LED光源组成，提供出色的图像对比度和分辨率。相机允许晶片和口罩同时以同样的放大倍率进行检查，提供准确的缺陷信息。Multi-Point Image Analyzer （MPIA）技术利用空间采样算法检测和测量诸如凹坑、突出晶粒、边缘或异物等微观缺陷，可根据大小和形状快速识别和分类。NanoSpec 4150设备高度可靠,能够对纳米级缺陷进行极其精确的测量和评估。其精密的计量系统执行12.5 μ m x 6.2 μ m步长,能够集成最严格的测试设计要求。高度自动化的过程可确保快速高效地获取准确的数据。NANOMETRICS NanoSpec 4150机组吞吐量高；即使在极具挑战性的应用中，它也能每秒获取数千张图像，提供高度可靠的物体检测和检查。它内置的缺陷分类和分析算法可以快速识别外来粒子，以及评估它们的尺寸性质，包括面积、直径、形状、距离、角度和曲率。NanoSpec 4150配备了图像采集和晶圆测量软件，使用户能够高效监控过程变化，并提供有关测量元件的详细信息。此外,NanoSpec机器能够在发现缺陷的上下文中自动测量晶圆阵列的覆盖和临界尺寸。NANOMETRICS NanoSpec 4150提供了无与伦比的分辨率和灵活性,提供了最高的质量和检查性能。该工具的自动缺陷分类和卓越的图像分辨率使其成为准确快速地检查掩模和晶片、减少工艺误差和提高产量的理想工具。