二手 NANOMETRICS NanoSpec 5100 #9223293 待售
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ID: 9223293
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Thickness measurement system, 6"
Measurement wave (UV): 400 - 900
Source: Halogen lamp
Measurement time (sec): 5 (UV:7)
Measurement area (A): 100(40) – 75 μ
Auto focus: Edge detect
1996 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 5100是一种高度先进的掩模和晶圆检测设备,它结合了高分辨率成像和敏感缺陷检测功能,以检查集成电路中的任何不规则性。该系统使用户能够准确测量和监控晶圆和掩模表面的特性,从纳米到毫米大小范围。NanoSpec 5100具有最先进的双光束共聚焦显微镜,可提供高分辨率成像,允许用户详细检查特征并检测缺陷。该装置采用高速、可靠的激光扫描机,以反射和荧光方式获取晶圆和遮罩表面的图像。该工具提供了先进的自动化图像分析工具,可实现快速缺陷分类和量化,以及数据处理、可视化和报告功能。NANOMETRICS NanoSpec 5100还具有先进的模式识别资产,使其能够执行自动缺陷定位和分析分类。该模型能够精确测量各种形态和电气特性,如线宽、空间和重迭。它配备了用于数据采集和分析的强大软件包,允许用户快速处理大型数据集,并从测量中得出准确的结论。NanoSpec 5100还为用户提供了一套全面的定量计量功能,包括颗粒大小、表面粗糙度和地形测量、电压对比度成像以及角锐度监控。此外,它还提供了能够精确识别PMOS、NMOS和MIS晶体管的自动化特征识别设备。NANOMETRICS NanoSpec 5100是一个功能强大且可靠的掩模和晶片检查系统,为用户提供准确识别和评估集成电路中任何潜在缺陷所需的工具。NanoSpec 5100具有高分辨率成像、自动化和高级数据分析功能,是制造过程中质量保证的理想工具。
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