二手 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #293768860 待售

NANOMETRICS NanoSpec 6100是为高精度、灵活性和速度而设计的掩模和晶圆检测设备。对其进行了优化，以快速准确地识别先进半导体器件中的屈服临界缺陷。该系统配有5轴成像头，具有延伸的景深透镜以成像直径达200毫米的全晶片。它具有先进的模式增强单元，消除了站点之间的不均匀性和非线性效应。NanoSpec 6100具有高分辨率、调色CCD相机和全晶圆统计分析,为光刻引起的缺陷提供了卓越的热点检测。高精度阶段每晶片最多可拍摄4张照片，以便对缺陷进行快速的可视化和统计分析。它具有轮廓和边缘解释以及CD测量能力来检测和分析CD不均匀性和其他屈服临界缺陷类型。该机还能够通过其彩色成像技术进行简单的缺陷隔离。NANOMETRICS NanoSpec 6100构建在模块化的开放式体系结构平台上,该平台与一系列检查策略、技术和不同的编程语言兼容。它提供了多种用户选项,用于自定义、图像缓冲和字段分离。它旨在与其他NanoSpec工具和外部计量系统集成,以实现端到端缺陷表征解决方桉。用户还可以使用最先进的成像和计量环境,其功能包括各种图像处理参数、可定制调色板以及预定义的收益优化任务执行和分析工具。该工具还具有易于使用的编程和设置工具,包括所见即所得编程功能和测试几何的图形表示,以便于操作。NanoSpec 6100是一种可靠、可靠、灵活的工具,可用于高效的掩模和晶圆检查。其先进的成像和模式识别功能、先进的CD测量和边缘解释功能,以及用户友好的界面,使该资产成为半导体制造过程中用于掩码和晶圆级缺陷分析的宝贵工具。