二手 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #293795183 待售

NANOMETRICS NanoSpec 6100是一种先进的掩模和晶片检查设备,旨在同时准确高效地检查掩模和晶片,使用户能够快速识别两种工件上的任何缺陷。该系统提供多种操作模式,并且能够进行自上而下、自下而上和硬掩码检查模式,从而使用户能够识别和检查任何高度的缺陷。通过广泛的查看模式,NanoSpec 6100能够对晶片和掩码进行逐个像素的分析,从而使用户能够使用传统的检查方法识别出难以检测到的细微缺陷。该单元还包括先进的成像能力，如斜向照明（OI）和暗场照明（Dark-Field Illumination，DFI），以最大限度地提高对比度和改善缺陷识别。这些特征可用于揭示其他照明技术无法看到的特征和特征,如侧壁缺陷、缺失的通气孔和触点。借助可选的高级彩色相机,NANOMETRICS NanoSpec 6100能够自动执行红色、绿色和蓝色ICCD相机图像捕捉、LED和闪光灯彩色照明以及True Color Edge Detection。该机还拥有一系列自动化检查工具，以最大限度地提高生产率，包括自动化工具同步扫描、自动扫描频率优化、大面积检查自动缝合和自动聚焦优化。资产还包括一系列独特的功能,例如可选的背面照明模块、矢量轨迹扫描、自动缺陷补偿、景深调整以及在线缺陷审查模块。NanoSpec 6100具有高效的工作流程,具有自动缺陷检测、分类和自动报告生成等精简功能,可减少检查时间并提高生产效率。该模型还包括功能强大的数据管理工具，用于可用于自上而下、自下而上和硬掩码检查的晶圆和掩码数据的全面审查、分析和比较。NANOMETRICS NanoSpec 6100是一种全自动和通用的掩模和晶圆检测设备,可提高生产率和准确性。NanoSpec 6100具有一系列成像功能和先进的自动化工具,非常适合连接晶圆和掩模检查,并确保可靠的产量。