二手 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #9265795 待售
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NANOMETRICS NanoSpec 6100是一种综合性的掩模和晶圆检测设备,设计用于光学和光掩模基板的精确、高分辨率成像。该系统能够检查、测试和验证各种设备的数字和模拟组件,包括光学光掩码、电阻器和电容器。NanoSpec 6100采用了最先进的成像技术,如LED照明、RGB摄像机和电动舞台。电动级在x, y, z轴中移动掩模或晶片基板,并允许快速精确的像素定位。这一阶段采用集成的自动对焦单元,可以让机器快速调整景深,确保精确成像;这对于检查线宽、形状和形状等关键特征非常有益。LED照明允许对基板表面进行均匀、可重复的照明,以确保高对比度成像;这与RGB摄像机相结合,可以在检查不同尺寸的面罩和晶片时实现精确的分色。NANOMETRICS NanoSpec 6100设计用于生产或实验室环境,还包括许多创新功能。其中包括用于缺陷检测的自动彩色处理算法、缺陷图像的实时处理、具有SPC功能的缺陷数据分析、高分辨率图像捕获、多视角成像以及分辨率高达500 nm的测量功能。该工具还具有自动检查资产,可快速筛选低至8微米的缺陷,并以每秒5微米的速度提供高精度结果。总体而言,NanoSpec 6100提供了一个全面的检查模型,可用于广泛的掩码和晶圆调查及验证过程。该设备的高级成像技术、机动化阶段、自动色彩处理和高精度测量功能使其成为任何生产或实验室环境的理想工具,这些生产或实验室环境要求对设备进行高精度的测量和验证。
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