二手 NANOMETRICS NanoSpec 8000 #9241928 待售
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ID: 9241928
优质的: 1997
Automated film thickness metrology system
Film types measured:
Typical range:
Single layer films:
Visible: 200 Å - 30 µm
UV: 25-500 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 100-30000 Å
Bottom layer: 100-10000 Å
Single layer thick films:
Visible: 4-30 µm
Absolute and relative reflectance:
Visible: 400-800 nm
UV: 210-400 nm
Oxide on poly:
UV: 150-10000 Å
Oxide on metal:
Visible: 3000-20000 Å
UV: 500-5000 Å
Refractive index: 1000-10000 Å
Typical precision:
Single layer films:
Visible: 0.1% or 2 Å min
UV: <1 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 0.1% or 2 Å min
Bottom layer: 0.1% or 2 Å min
Single layer thick films:
Visible: 0.5%
Absolute and relative reflectance:
Visible: <0.4%
UV: <0.4%
Oxide on poly:
UV: 0.1% or 2 Å min
Oxide on metal:
Visible: 0.1% or 3 Å min
UV: 0.1% or 3 Å min
Refractive index: 0.0005
1997 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 8000是NANOMETRICS的掩模和晶圆检测设备,设计用于微小型和纳米级设备制造中的缺陷检测。该系统具有自动化软件单元，具有基于参数的算法过滤器，用于精确的缺陷检查，以及成像和数据采集功能。它的最大图像分辨率为10um/pixel,可定制制造过程中使用的材料的光学和电气特性参数。该机使用方便，配备了运动控制和精密软件，可实现成像过程的自动化。处理器还包括各种边缘和模式检测功能，以高效的数据采集。NanoSpec 8000利用高级光学器件来获取各种关键信息,例如线条和边缘宽度、线条和边缘的对称性以及处理特征的深度。此外,它还利用四向照明工具提供理想的成像条件平衡,包括用于高速测量的低角度照明和用于帮助分辨率要求的聚焦照明。NANOMETRICS NanoSpec 8000能够快速准确地成像各种材料中各种复杂级别的设备。NanoSpec 8000的设计旨在降低工作流的复杂性并最大限度地提高吞吐量。它配备了智能、可编程的接口，即使是最复杂的成像测量也能方便操作。此外,资产还可确保高效、安全和安全的数据处理。最后,NANOMETRICS NanoSpec 8000适用于广泛的检查任务,包括掩模和晶圆制造。它能够为缺陷检测提供高分辨率的成像，并具有直观的用户界面以实现最高的效率。它还提供各种成像功能以及边缘和模式检测工具,以便于数据采集,以及一个安全的数据存储平台。
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