二手 NANOMETRICS NanoSpec 9010 #293650063 待售

NANOMETRICS NanoSpec 9010是一种功能强大的多传感器临界尺寸（CD）和覆盖掩模和晶圆检测设备。该系统提供了一个独特的能力来测量、量化和映射一系列的关键尺寸从最优秀的电路元件呈现在微光刻掩模和晶圆表面。测量功能的范围从最简单的结构（小至6nm）到最复杂的结构（如大型通风孔、嵌入式特征和超铺）。此外,动态成像和特征识别提供了无与伦比的准确性和分析能力。NanoSpec 9010同样具有强大的失真和波动分析（DFA/DFA）和边缘噪声检查（ENI）功能,可在掩模和晶圆截面上测量各种非均匀性和散光。因此，该装置非常适合亚纳米级的配准和覆盖应用，例如接触层的配准和加载对齐层，从而提高了生产过程的产量。在步进扫描模式下,NANOMETRICS NanoSpec 9010具有前所未有的0.5纳米分辨率,能够在测量小至6纳米的极微小特征时实现最高的精度和精度。该机还具有可选的覆盖亚纳米模式，使其能够以可重复的精度提供亚纳米覆盖测量。NanoSpec 9010提供无与伦比的成像和分析功能,并提供功能强大的软件套件。该工具的核心是独特的360°成像特征，它使在垂直和水平方向上进行的纳米尺度测量能够容易地进行比较和分析。图像捕获、分析和报告功能的组合为关键尺寸、迭加、失真和波动以及边缘噪声测量应用提供了无与伦比的结果。综上所述，NANOMETRICS NanoSpec 9010是CD和覆盖掩码以及晶圆检测应用的无与伦比的资产。凭借卓越的分辨率、图像捕获和分析能力,以及DFA/DFA和ENI,该模型提供了前所未有的准确性、可重复性和可靠性。此外,NanoSpec 9010还具有直观而强大的软件套件,便于使用和监控结果。因此，在先进的半导体掩模和晶圆检测应用中，设备是工程师和生产人员的理想选择。