二手 NANOMETRICS NanoSpec 9100 #293699943 待售

NANOMETRICS NanoSpec 9100是为半导体器件制造应用而设计的高精度掩模和晶圆检测设备。它提供半导体器件上单层和多层图样结构的光学和电气分析,包括晶体管、金属层和电阻器,其特征尺寸分辨率低于10nm。NanoSpec 9100是一个全面的系统,能够捕获各种基板上的大小、形状、均匀性、接触、深度和平坦度等信息。该单元包括一个自对准摄像机，能够准确地捕获基板表面的光学和电气数据，而无需任何手动调整，从而能够对任何图样化或未图样化的样品进行快速和高效的成像。光学器件专为高分辨率工作和特征创新而设计，如相位测量显微镜（PMM）、高灵敏度光学元件检测（HSOED）和并行检测照明（PDI）。这些系统共同为图像提供了极高的分辨率、准确性和可重复性,以及用于可视化样品中微小缺陷和变化的高级成像技术。在电气检查方面，NANOMETRICS NanoSpec 9100包括一台CCD-On-Chip计量（CCOM）机，该机结合了C-V测量、载波生成映射和信号分析。该工具能够以低于50 nm的分辨率记录来自晶片的电信号，从而实现高维数据的优化封装，用于精确测量。除了CCOM和光学系统外，NanoSpec 9100还包括自动数据过滤、边缘检测、识别算法等先进的后处理功能，以提高检查的准确性和速度。此外,该资产易于使用,具有用户友好的图形用户界面（GUI）,可用于数据采集和分析。NANOMETRICS NanoSpec 9100是设计用于实验室和工业环境的通用且可靠的模型。其准确性、可重复性和高分辨率成像能力使其成为监测和提高半导体器件制造精度的强大工具。