二手 NANOMETRICS NanoSpec 9100 #293721371 待售
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NANOMETRICS NanoSpec 9100是一种最先进的掩模和晶圆检测设备,它结合了高分辨率成像和独特的晶圆和掩模缺陷检测功能,以确保半导体制造的高产率和优质产品。NanoSpec 9100利用尖端衍射相位显微镜和扫描激光干涉测量技术来检查晶圆、掩模和晶圆图样缺陷,其分辨率是其他领先系统的两倍。NANOMETRICS NanoSpec 9100拥有一流的高清成像系统,最高分辨率为7 µm,可提供清晰的图像和详细的缺陷分析。该单元具有一个8"到10"的晶圆映射和检查区域,能够容纳最多12个的较大晶圆。"这台先进的计算机提供高达75 µm/s的快速扫描速度,以及易于使用、用户友好的GUI,可实现高效的操作、数据管理和分析。该工具采用先进的车载图像处理算法,用于无缝半导体产量管理过程,提供增强的掩码和晶圆缺陷检测、特征和过程变化监测与分析。可以检查范围广泛的缺陷大小和特征大小,从5 nm到500 µm,并具有识别明暗缺陷的功能。NanoSpec 9100旨在将成本降至最低,并满足任何半导体制造工程过程中最复杂的检查和分析要求。该资产具有很高的准确性、可配置性和易用性,可最大限度地提高效率并确保快速解决问题。NANOMETRICS NanoSpec 9100采用带有通知功能的交互式触摸屏LCD、快速、准确的检查引擎和自动缺陷定位解决方桉,是高分辨率掩码和晶圆检查的可靠且精密的选择。
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